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申请/专利权人：歌尔微电子股份有限公司
摘要：公开了一种微机电系统压电麦克风、其制造方法及电子设备。该制造方法包括：在器件衬底上形成压电麦克风器件层，其中，所述器件衬底是激光透明的；对器件衬底进行处理以形成背洞；以及通过从所述器件衬底侧照射激光，利用激光剥离从所述器件衬底释放所述压电麦克风器件层，其中，照射激光的窗口限定释放所述压电麦克风器件层的边界。
主权项：1.一种微机电系统压电麦克风的制造方法，包括：在器件衬底上形成压电麦克风器件层，其中，所述器件衬底是激光透明的；对器件衬底进行处理以形成背洞；以及通过从所述器件衬底侧照射激光，利用激光剥离从所述器件衬底释放所述压电麦克风器件层，其中，照射激光的窗口限定释放所述压电麦克风器件层的边界，以使得激光烧蚀的边界大于背洞边界，从而在器件衬底和压电麦克风器件层之间，沿所释放的压电麦克风器件层的周边形成小缝隙。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 歌尔微电子股份有限公司 微机电系统压电麦克风、其制造方法及电子设备
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