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申请/专利权人：阳明量子科技(深圳)有限公司
摘要：本实用新型公开了一种高度可调节水冷膜厚探头，涉及真空镀膜领域。包括，膜厚探头100、高度可调节水冷支架200、真空法兰300、信号连接线400。本实用新型可以实现膜厚探头高度调节，并且通过水冷系统保证膜厚探头工作温度恒定，从而确保膜厚探头可以精确稳定地测量出待测位置的镀膜厚度等信息。在光伏、显示、半导体、真空镀膜等领域具备重大应用价值。
主权项：1.一种高度可调节水冷膜厚探头，其特征在于，包括以下部分：一个由带中孔晶振底座（104）、晶振片（107）、压簧（106）、连接线（103）、馈入高频信号连接口（101）、带环形凹槽的探头外壳（102）、固定螺丝（105）组成的膜厚探头（100）、一个通过探头环形凹槽（109）固定住探头的可调节高度水冷支架（200）、一套真空法兰（300）、一根信号连接线（400）；拧松固定螺丝，即可取下带中孔晶振底座（104）和晶振片（107），更换晶振片。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 阳明量子科技(深圳)有限公司 一种高度可调节水冷膜厚探头
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