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申请/专利权人：苏州联讯仪器股份有限公司
摘要：本实用新型提供了一种晶圆老化测试装置，涉及晶圆技术领域。本实用新型在晶圆老化测试装置内设置沿基座的延伸方向布置的支撑结构，以对进入晶圆老化测试装置的夹具进行支撑和导向，不仅可以避免夹具进入晶圆老化测试装置时夹具直接与多个探针发生碰撞，还便于调节夹具的位置，夹具完全进入晶圆老化测试装置后，调整夹具至所需的位置，再对夹具施加向下的作用力，使夹具内的晶圆与多个探针精确接触，提高晶圆老化测试的准确性。
主权项：1.一种晶圆老化测试装置，其特征在于，包括：基座；探针台，设置在所述基座的上方，且具有向上凸出的多个探针；支撑结构，沿所述基座的延伸方向布置，用于对夹具进行支撑，所述支撑结构设置成在对所述夹具支撑时高于所述多个探针的顶部，且在所述夹具受到向下的作用力时向下移动或收缩，以使得所述夹具向下移动至与所述多个探针接触的位置处。
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权利要求：
百度查询： 苏州联讯仪器股份有限公司 一种晶圆老化测试装置
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