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申请/专利权人:上海涵优电子科技有限公司
摘要:本实用新型公开了一种开沟腐蚀槽,包括:支撑台,支撑台内部固定有腐蚀槽,腐蚀槽包括外槽体和内槽体,内槽体设置于外槽内中部;外槽体和内槽体之间环设有冷却组件,冷却组件包括外冷却盘管和内冷却盘管;支撑台下方设置有循环组件,循环组件包括循环泵和循环阀。本实用新型,设置有内外两个槽体,槽体之间嵌套组立有两组冷却盘管,通过下方的循环泵实现内外槽体的循环冷却,确保腐蚀槽温度分布更加均匀。
主权项:1.一种开沟腐蚀槽,其特征在于,包括:支撑台1,所述支撑台1内部固定有腐蚀槽2,所述腐蚀槽2包括外槽体21和内槽体22,所述内槽体22设置于所述外槽体21中部;所述外槽体21和所述内槽体22之间环设有冷却组件3,所述冷却组件3包括外冷却盘管31和内冷却盘管32;所述支撑台1下方设置有循环组件4,所述循环组件4包括循环泵41和循环阀42。
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