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申请/专利权人：应用材料公司
摘要：描述了涂布含金属部件的例示性方法。开发该方法是为了提高抗腐蚀性并改善涂层对金属基板的黏附力。该方法包括在金属基板上形成接合层，其中该接合层包含该金属基板中的金属的氧化物。该涂布方法进一步包括在接合层上沉积应力缓冲层，其中该应力缓冲层的特征在于应力缓冲层热膨胀系数CTE小于金属基板CTE和接合层CTE。该涂布方法还包括在应力缓冲层上沉积环境阻障层，其中金属基板CTE与环境阻障层CTE的比率为大于或约20:1，并且其中环境阻障层包含氧化硅。该含金属部件可在电子元件的制造装备中使用。
主权项：1.一种涂布方法，包括以下步骤：在金属基板上形成接合层，其中所述接合层包含所述金属基板中的金属的氧化物；在所述接合层上沉积应力缓冲层，其中所述应力缓冲层的特征在于应力缓冲层热膨胀系数CTE小于金属基板CTE和接合层CTE；在所述应力缓冲层上沉积环境阻障层，其中所述金属基板CTE与环境阻障层CTE的比率为大于或约20:1，并且其中所述环境阻障层包含氧化硅。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料公司 用于抗腐蚀的多层涂布
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