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申请/专利权人：苏州桔云科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种晶圆吸附结构，涉及晶圆吸附技术领域，包括牙叉，牙叉内开设有真空通道，牙叉包括连接部以及设于连接部一端的叉头部，叉头部上开设有与真空通道连通的安装孔，安装孔内设有橡胶吸嘴，其中，牙叉包括分别设于安装孔内缘两端的卡环部和止挡环部，卡环部和止挡环部之间构造出环状卡沟；橡胶吸嘴包括呈圆管状的气管以及设于气管一端呈喇叭状的吸头，气管另一端插入安装孔内与真空通道连通，且气管外周具有沿自身径向上间隔设置的上密封环部和下密封环部，上密封环部和下密封环部之间构造出用于密封卡接卡环部的环状密封槽，下密封环部密封卡接在环状卡沟，使橡胶吸嘴能直接与牙叉密封固定连接，便于橡胶吸嘴的安装和拆卸。
主权项：1.一种晶圆吸附结构，其特征在于，包括牙叉，所述牙叉内开设有真空通道，所述牙叉包括连接部以及设于所述连接部一端的叉头部，所述叉头部上开设有与所述真空通道连通的安装孔，所述安装孔内设有橡胶吸嘴，其中，所述牙叉包括分别设于所述安装孔内缘两端的卡环部和止挡环部，所述卡环部和所述止挡环部之间构造出环状卡沟；所述橡胶吸嘴包括呈圆管状的气管以及设于所述气管一端呈喇叭状的吸头，所述气管另一端插入所述安装孔内与所述真空通道连通，且所述气管外周具有沿自身径向上间隔设置的上密封环部和下密封环部，所述上密封环部和所述下密封环部之间构造出用于密封卡接所述卡环部的环状密封槽，所述下密封环部密封卡接在所述环状卡沟。
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百度查询： 苏州桔云科技有限公司 一种晶圆吸附结构
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