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申请/专利权人：江苏三米科思半导体设备有限公司
摘要：本实用新型属于检测技术领域，具体涉及一种高精度XY气浮运动平台，通过平台、移动机构和检测机构；所述移动机构设置在所述平台上，所述移动机构适于承载物件并且带动物件在X轴和Y轴方向移动；所述移动机构上设置有若干气浮轴承，使得所述移动机构带动物件在X轴和Y轴方向移动时为气浮式移动；所述检测机构设置在所述平台上并且位于所述移动机构上方，所述检测机构适于对移动机构上的物件进行检测；实现了整体无摩擦，气浮膜厚均匀，使得XY气浮运动平台整体运动惯量低，可实现更高速的运动及稳定的运动轨迹。
主权项：1.一种高精度XY气浮运动平台，其特征在于，包括：平台、移动机构和检测机构；所述移动机构设置在所述平台上，所述移动机构适于承载物件并且带动物件在X轴和Y轴方向移动；所述移动机构上设置有若干气浮轴承，使得所述移动机构带动物件在X轴和Y轴方向移动时为气浮式移动；所述检测机构设置在所述平台上并且位于所述移动机构上方，所述检测机构适于对移动机构上的物件进行检测。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏三米科思半导体设备有限公司 一种高精度XY气浮运动平台
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