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一种新型激光平面度测量仪 

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申请/专利权人:上海研润光机科技有限公司

摘要:本实用新型公开的一种新型激光平面度测量仪,包括:一搁置在被测产品的待测平面上的内部装有90度光束转向镜的激光发射器;搁置在被测产品的待测平面上的位置敏感探测器;装有90度光束装向镜的激光发射器将激光光束转90°再平行于被测产品的待测平面,即可快速测量各个测点的高低误差。本实用新型可以对圆的平面度进行测量和能对多个平面的共面度进行测量。对于多平面的共面测量需要先调整多个平面的水平,消除角度影响后将激光光束调整至于被测平面平行即可测量。

主权项:1.一种新型激光平面度测量仪,其特征在于:包括:一搁置在被测产品的待测平面上的内部装有90度光束转向镜的激光发射器;搁置在被测产品的待测平面上的位置敏感探测器;装有90度光束装向镜的激光发射器将激光光束转90°再平行于被测产品的待测平面,即可快速测量各个测点的高低误差。

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