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申请/专利权人：埃地沃兹有限公司
摘要：本公开涉及真空泵10，其包括基本上气密地密封的外壳40、位于外壳40内的核心泵组件、以及流体地连接到外壳40以用于将惰性净化气体供应到围绕核心泵组件的外壳40的内部的惰性净化气体入口70，以便将惰性正压力施加到核心泵组件，这减少了工艺气体从核心泵组件的泄漏，使得其中的密封件可被去除或减少，所述密封件尤其是昂贵的工艺敏感的弹性体密封件。
主权项：1.一种真空泵，包括：基本上气密地密封的外壳；核心泵组件，其位于所述外壳内并且包括两个定子半部，所述两个定子半部结合以在其中限定多个泵室；以及惰性净化气体入口，所述惰性净化气体入口流体地连接到所述外壳，用于将惰性净化气体供应至围绕所述核心泵组件的外壳的内部。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 埃地沃兹有限公司 具有降低的密封要求的真空泵
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