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申请/专利权人:RF360新加坡私人有限公司
摘要:本公开的某些方面提供了一种用于减少的自发热的具有一个或多个中间层的表面声波SAW器件以及制造这种SAW器件的方法。一个示例SAW器件通常包括压电层和设置在压电层上方的叉指换能器IDT。IDT通常包括具有第一母线和第一多个指状物的第一电极。第一电极通常包括设置在压电层上方的第一铜层、设置在第一铜层上方的第一中间层和在第一中间层上方的第二铜层,第一中间层包括与第一铜层不同的材料。
主权项:1.一种表面声波SAW器件,包括:压电层;以及叉指换能器IDT,设置在所述压电层上方并且包括第一电极,所述第一电极具有第一母线以及从所述第一母线延伸的第一多个指状物,其中所述第一电极包括:第一铜层,设置在所述压电层上方;第一中间层,设置在所述第一铜层上方,所述第一中间层包括与所述第一铜层不同的材料;以及第二铜层,设置在所述第一中间层上方。
全文数据:
权利要求:
百度查询: RF360新加坡私人有限公司 用于自发热改进的具有一个或多个中间层的表面声波(SAW)器件
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