买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

申请/专利权人：吉林大学

摘要：本发明公开了一种金刚石NV色心的定点加工与检测系统及其加工和检测方法，属于激光微纳加工技术领域，该系统包括位置控制与光学检测平台、计算机控制模块及时序可控微波产生模块；本发明将NV色心加工与检测系统相结合，复用了部分硬件设备，减少了系统体积，通过时序可控微波产生模块实现高效、高精度的检测金刚石NV色心位置精度、产率以及在金刚石内部的晶向取向。本发明提出的检测方法，有效解决荧光扫描方向与加工方向存在夹角的问题，实现实际加工坐标与经校正的理想加工坐标偏差快速计算分析。本发明提出的金刚石NV色心检测方法，有效解决荧光扫描方向与加工方向存在夹角的问题，实现实际加工坐标与经校正的理想加工坐标偏差快速计算分析。

主权项：1.一种金刚石NV色心的定点加工与检测系统，其特征在于，包括位置控制与光学检测平台1、计算机控制模块2及时序可控微波产生模块3；所述位置控制与光学检测平台1由安装于大理石基光学平台上的激光加工与荧光激发光路4、组合式三轴位移台5及荧光共聚焦光路6组成；所述激光加工与荧光激发光路4，包括激光器10、反射镜11、二向色镜12、反射镜13和显微物镜14；所述激光器10发射的激发激光或加工激光依次经由反射镜11、二向色镜12及反射镜13垂直入射到显微物镜14，所述显微物镜14与金刚石样品7保持垂直；所述组合式三轴位移台5，用于放置并移动金刚石样品7及显微物镜14；所述荧光共聚焦光路6，包括凸透镜15、检测针孔16、凸透镜17、滤光片18及光纤耦合器19；激发激光经显微物镜14聚焦在金刚石NV色心时，金刚石NV色心吸收激发光子，同时辐射荧光光子；激发的荧光经显微物镜14收集后，再次经反射镜13反射后透过二向色镜12，经凸透镜15聚焦后穿过检测针孔16，经凸透镜17聚焦后由光纤耦合器19收集荧光，通过光纤传输至时序可控微波产生模块3；所述滤光片18用于滤除激发激光和非收集波段光子的作用，提高信噪比；所述时序可控微波产生模块3包括时间相关单光子计数器31、时序逻辑控制器32、高速微波开关33、微波信号发生器34、微波放大器35、微波环形器36及铜导线天线37；微波信号发生器34产生的低功率微波信号，在高速微波开关33的开关控制下进入微波放大器35放大，放大后的微波信号进入微波环形器36的1号端口，并从微波环形器36的2号端口输出至铜导线天线37；部分从铜导线天线37反射的微波信号从微波环形器36的2号端口进入，并从微波环形器36的3号端口输出，由负载电阻吸收；所述计算机控制模块2，用于控制组合式三轴位移台5和微波信号发生器34，并采集和显示CCD摄像头43的图像、时间相关单光子计数器31和时序逻辑控制器32的数据；所述时序可控微波产生模块3还包括光纤分束器41及单光子探测器42，光纤分束器41用于接收由光纤耦合器19收集的荧光光子，并以50:50随机分配给两路单光子探测器42并产生电脉冲信号；所述时序逻辑控制器32用于计数单光子探测器42产生的电脉冲信号；所述时间相关单光子计数器31用于对两路单光子探测器42产生的电脉冲信号进行符合计数测量。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 吉林大学 一种金刚石NV色心的定点加工与检测系统及其加工和检测方法