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在金刚石层中产生确定性色心的方法、金刚石层及其使用 

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申请/专利权人:量子技术有限公司

摘要:本发明涉及在金刚石层中产生确定性色心的方法、金刚石层及其使用。其中,用于在金刚石层15中产生至少一个确定性色心54的方法10的特征在于,在第一步骤12中,将至少一种掺杂剂注入到所述金刚石层15中,并且在第二步骤22中,通过低能离子轰击将至少一个杂质原子掺合到所述金刚石层15中,以形成所述色心54,其中,所述离子轰击是利用离子注量为1010cm‑2以下的杂质原子进行的,由此,提高费米能级。

主权项:1.一种用于在金刚石层15中产生至少一个确定性色心54的方法10,其特征在于,在第一步骤12中,将至少一种掺杂剂注入到所述金刚石层15中,并且在第二步骤22中,通过低能离子轰击将至少一个杂质原子掺合到所述金刚石层15中,以形成所述色心54,其中,所述离子轰击是利用离子注量为1010cm-2以下的杂质原子进行的,由此,提高费米能级。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 量子技术有限公司 在金刚石层中产生确定性色心的方法、金刚石层及其使用

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