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基于激光测声的极端温度电声脉冲法空间电荷检测装置 

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申请/专利权人:上海交通大学

摘要:一种基于激光测声的极端温度电声脉冲法空间电荷检测装置,包括:密封低压电极模块、高压激励电极模块、温度调节模块、真空调节模块和激光测声模块,本发明通过激光测声技术取代压电传感器来对声波检测电极表面信号进行测量,解决压电传感器工作温度范围的瓶颈限制,采用金属壳体和石英玻璃的组合构建真空腔体,排除声波检测电极周围的气体和水分子,构建高、低温极端温度条件下声波检测电极至激光测声光源间的稳定光路环境。

主权项:1.一种基于激光测声的极端温度电声脉冲法空间电荷检测装置,其特征在于,包括:密封低压电极模块、高压激励电极模块、温度调节模块、真空调节模块和激光测声模块,其中:待测试样置于密封低压电极模块和高压激励电极模块之间,高压激励电极模块将直流高压和电脉冲激励信号施加于待测试样上,温度调节模块、真空调节模块和激光测声模块分别与密封低压电极模块相连,进行温度和真空度调节并采用激光多普勒干涉方式检测试样在直流高压和电脉冲激励下内部空间电荷的表征声波在密封低压电极模块中形成的声振动信号;所述的密封低压电极模块包括:贯通结构的不锈钢腔以及相对设置于其中的石英玻璃和金属低压电极,其中:石英玻璃正对激光测声模块设置,激光测声模块发射的激光垂直照射于石英玻璃后,入射于金属低压电极;所述的激光多普勒干涉方式是指:激光测声模块发射的激光直接垂直入射于密封低压电极模块,通过入射光和反射光的多普勒干涉原理检测待测试样的声振动,实现声光电压电荷的信号变换。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 上海交通大学 基于激光测声的极端温度电声脉冲法空间电荷检测装置

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