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申请/专利权人：中环领先半导体材料有限公司;天津中环领先材料技术有限公司

摘要：本发明创造提供了一种基于WaferIDReader的自动读码装置，包括电控柜、滑台以及片篮底座，所述滑台以及片篮底座设置在电控柜内，所述电控柜还设有总控模块；所述电控柜内部设有托板，所述片篮底座设置在托板上，所述片篮底座包括底板，所述底板为对称结构，底板上还设有多个定位块，多个所述定位块用于放置不同尺寸的硅片，所述底板上还设有多个用于检测硅片放置位置的微动开关，多个所述定位块沿底板的对称轴对称设有两组。本发明创造所述的一种基于WaferIDReader的自动读码装置准确读取打标号，有效地避免了人为读错、增加颗粒度的风险，提高读码效率，减少人为劳动强度，降低人工成本。

主权项：1.一种基于WaferIDReader的自动读码装置，其特征在于：包括电控柜1、滑台、片篮底座2以及读码器21，所述滑台以及片篮底座2设置在电控柜1内，所述滑台用于带动读码器21移动，所述电控柜1还设有总控模块4；所述电控柜1内部设有托板，所述片篮底座2设置在托板上，所述片篮底座2包括底板11，所述底板11为对称结构，底板11上还设有多个定位块，多个所述定位块用于放置不同尺寸的硅片，所述底板11上还设有多个用于检测硅片放置位置的微动开关9，多个所述定位块沿底板11的对称轴对称设有两组；所述滑台包括相互垂直的第一滑台16以及第三滑台26，所述电控柜1还设有背板15，所述背板15竖立设置在托板下方，第一滑台16设置在背板15的一侧，所述第一滑台16包括第一滑轨以及第一滑块，所述第一滑台16上还设有连接板24，所述连接板24设置在第一滑块上方，所述连接板24与第一滑块通过连接杆固定连接，所述第一滑块通过连接杆带动连接板24在竖直方向移动；所述第三滑台26包括第三滑轨以及第三滑块，所述第三滑轨设置在连接板24上，第三滑台26上还设有竖直板25，所述竖直板25底部与第三滑块固定连接；所述连接板24上还设有拖链安装板17，第三滑台26还连接有电缆拖链27，所述电缆拖链27设置在拖链安装板17内；还包括第二滑台18，所述第二滑台18设置在背板15的另一侧，所述第二滑台18包括第二滑轨以及第二滑块，所述第二滑台18上部还包括读码器安装板19，读码器安装板19下端与第二滑块固定连接，上端安装有读码器21，所述读码器21设有两个，两个所述读码器21与总控模块4连接，多个所述滑台均设有驱动电机以及电动丝杆，电动丝杆与驱动电机的输出轴连接，多个所述滑台的滑块与电动丝杆连接，通过电动丝杆带动滑块移动。

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