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摘要：本实用新型提供了一种基于WaferIDReader的自动读码装置，包括电控柜、滑台以及片篮底座，所述滑台以及片篮底座设置在电控柜内，所述电控柜还设有总控模块；所述电控柜内部设有托板，所述片篮底座设置在托板上，所述片篮底座包括底板，所述底板为对称结构，底板上还设有多个定位块，多个所述定位块用于放置不同尺寸的硅片，所述底板上还设有多个用于检测硅片放置位置的微动开关，多个所述定位块沿底板的对称轴对称设有两组。本实用新型所述的一种基于WaferIDReader的自动读码装置准确读取打标号，有效地避免了人为读错、增加颗粒度的风险，提高读码效率，减少人为劳动强度，降低人工成本。
主权项：1.一种基于WaferIDReader的自动读码装置，其特征在于：包括电控柜1、滑台、片篮底座2以及读码器21，所述滑台以及片篮底座2设置在电控柜1内，所述滑台用于带动读码器21移动，所述电控柜1还设有总控模块4；所述电控柜1内部设有托板，所述片篮底座2设置在托板上，所述片篮底座2包括底板11，所述底板11为对称结构，底板11上还设有多个定位块，多个所述定位块用于放置不同尺寸的硅片，所述底板11上还设有多个用于检测硅片放置位置的微动开关9，多个所述定位块沿底板11的对称轴对称设有两组。
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百度查询： 中环领先半导体材料有限公司 天津中环领先材料技术有限公司 一种基于Wafer ID Reader的自动读码装置
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