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申请/专利权人：瑶光半导体(浙江)有限公司

摘要：本发明公开了一种卫星盘转速测量方法、系统、可读存储介质及计算机设备，涉及半导体制造设备领域。该方法包括以下步骤：当未处于预设晶圆处理工艺时获取放置在卫星盘上的晶圆上表面与测距传感器的垂直距离；当处于预设晶圆处理工艺时获取第一高度信息，第一高度信息包括卫星盘和或晶圆的浮起高度，或者卫星盘浮起后的晶圆上表面与测距传感器的垂直距离；将第一高度信息与预存的高度信息进行匹配；在匹配成功的情况下，根据预存的映射关系，确定卫星盘的转速。该方法解决了在晶圆处理工艺中卫星盘一直围绕母盘在公转无法进行卫星盘转速测量及解决了单片卫星盘转速无法测量的问题。

主权项：1.一种卫星盘转速测量方法，其特征在于，包括以下步骤：当未处于预设晶圆处理工艺时，在母盘非旋转，所述卫星盘未浮起状态下，获取放置在所述卫星盘上的晶圆上表面与测距传感器的垂直距离；当处于预设晶圆处理工艺时，在母盘旋转，卫星盘浮起并旋转状态下获取第一高度信息；将所述第一高度信息与预存的高度信息进行匹配；在匹配成功的情况下，根据预存的映射关系，确定所述卫星盘的转速，其中，所述映射关系表征所述高度信息与所述卫星盘转速的关系；所述第一高度信息包括所述卫星盘和或晶圆的浮起高度，当未处于预设晶圆处理工艺时，在母盘非旋转，所述卫星盘未浮起状态下，获取放置在所述卫星盘上的所述晶圆上表面与所述测距传感器的垂直距离步骤之后还包括：通入预定的气流量使得载有晶圆的卫星盘浮起并旋转，获取所述晶圆上表面与所述测距传感器的垂直距离h2；获取所述卫星盘的转速；根据公式：浮起高度Δh=h1-h2计算得到所述卫星盘和或所述晶圆的浮起高度，其中，h1为所述卫星盘未浮起状态下，放置在所述卫星盘上的所述晶圆上表面与所述测距传感器的垂直距离，h2为通入预定的气流量使得载有晶圆的卫星盘浮起并旋转后获取的所述晶圆上表面与所述测距传感器的垂直距离；将所述浮起高度与所述卫星盘的转速进行关联存储，从而得到所述映射关系；或者，所述第一高度信息包括所述卫星盘浮起后的所述晶圆上表面与测距传感器的垂直距离，当未处于预设晶圆处理工艺时，在母盘非旋转，所述卫星盘未浮起状态下，获取放置在所述卫星盘上的所述晶圆上表面与所述测距传感器的垂直距离步骤之后还包括：通入预定的气流量使得载有晶圆的所述卫星盘浮起并旋转，获取所述晶圆上表面与所述测距传感器的垂直距离h2；获取所述卫星盘的转速；将所述晶圆上表面与所述测距传感器的垂直距离h2与所述卫星盘的转速进行关联存储，从而得到所述映射关系；将所述浮起高度与所述卫星盘的转速进行关联存储，从而得到所述映射关系步骤之后还包括：改变通入的气流量使得改变所述卫星盘的浮起高度；获取改变后的卫星盘和或晶圆的浮起高度；获取所述卫星盘的转速；将改变后的卫星盘的浮起高度与所述卫星盘的转速进行关联存储，从而得到更新后的所述映射关系；重复上述改变通入的气流量使得改变所述卫星盘的浮起高度至将改变后的卫星盘的浮起高度与所述卫星盘的转速进行关联存储的步骤，直到满足预设条件停止，所述预设条件包括得到预设量的映射关系，或者所述浮起高度超出或等于预设值。

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