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申请/专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
摘要：本发明公开了一种LPCVD设备安全控制系统，包括：安全检测模块、安全PLC和部件模块供电接触器；所述安全PLC分别与安全检测模块和部件模块供电接触器连接，所述安全检测模块用于采集LPCVD设备的数据信号，并将数据信号传递至安全PLC，在安全PLC内做逻辑运算，并将计算结果通过输出至LPCVD设备的各部件模块的接触器上，以实现控制各部件模块供电；当安全条件满足时，接触器吸合，部件模块供电；当安全条件不满足时，接触器断开，部件模块断电。本发明具有接线简单、安全互锁逻辑实现方便灵活、能够快速诊断安全系统故障等特点，提高了LPCVD设备的运行可靠性。
主权项：1.一种LPCVD设备安全控制系统，其特征在于，包括：安全检测模块1、安全PLC2和部件模块供电接触器3；所述安全PLC2分别与安全检测模块1和部件模块供电接触器3连接，所述安全检测模块1用于采集LPCVD设备的数据信号，并将数据信号传递至安全PLC2，在安全PLC2内做逻辑运算，并将计算结果通过输出至LPCVD设备的各部件模块的接触器上，以实现控制各部件模块供电；当安全条件满足时，接触器吸合，部件模块供电；当安全条件不满足时，接触器断开，部件模块断电。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国电子科技集团公司第四十八研究所 一种LPCVD设备安全控制系统
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