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申请/专利权人:广州奥松电子股份有限公司
摘要:本发明属于智能传感技术领域,具体涉及微管流量传感器及微流量检测方法;微管流量传感器,包括:电阻膜基座,设置有微流管道;流量检测模组,设置在所述电阻膜基座上,所述流量检测模组位于所述微流管道的延伸路径上且用于检测所述微流管道内的流体流量;其中,所述微流管道凹陷在所述电阻膜基座的端部,使所述电阻膜基座的端部成型有悬臂梁,所述流量检测模组嵌入在所述悬臂梁上。在本发明中,通过将微流管道集成在电阻膜基座,待测流体并不是直接与流量检测模组流量检测模组接触,而是通过微流管道与悬臂梁接触后,微流管道内流动的待测流体将悬臂梁上的热量转移,进而通过流量检测模组检测悬臂梁上的温差,实现更高的测量精准度。
主权项:1.一种微管流量传感器,其特征在于,包括:电阻膜基座,所述电阻膜基座上设置有微流管道;流量检测模组,所述流量检测模组设置在所述电阻膜基座上,所述流量检测模组位于所述微流管道的延伸路径上且用于检测所述微流管道内的流体流量;其中,所述微流管道凹陷在所述电阻膜基座的端部,使所述电阻膜基座的端部成型有悬臂梁,所述流量检测模组嵌入在所述悬臂梁上。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 广州奥松电子股份有限公司 微管流量传感器及微流量检测方法
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