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申请/专利权人：三井化学株式会社
摘要：一种防护膜，其包含多个碳纳米管，上述多个碳纳米管的下述式1所表示的直线性参数的平均值为0.10以下。式1：直线性参数＝单管的宽度的标准偏差Sa上述宽度的平均值Aa。上述式1中，上述单管表示上述多个碳纳米管所含的1根碳纳米管，上述标准偏差Sa和上述平均值Aa各自基于沿上述单管的长边方向每隔2nm间隔测定上述单管的宽度而得的11处的测定值来算出。
主权项：1.一种防护膜，其包含多个碳纳米管，所述多个碳纳米管的下述式1所表示的直线性参数的平均值为0.10以下，所述多个碳纳米管的一部分形成多个管束，所述多个管束的下述式2所表示的填充密度参数的平均值为0.15以下，式1：直线性参数＝1根碳纳米管的宽度的标准偏差Sa所述宽度的平均值Aa所述式1中，所述标准偏差Sa和所述平均值Aa各自基于沿1根碳纳米管的长边方向每隔2nm间隔测定1根碳纳米管的宽度而得的11处的测定值来算出，式2：填充密度参数＝构成1根管束的多个碳纳米管的中心点间距离的标准偏差Sb所述中心点间距离的平均值Ab所述式2中，所述中心点间距离表示，在将所述防护膜沿所述防护膜的膜厚方向切断后的截面的、包含1根管束的20nm×20nm的范围的透射电子显微镜图像中，确定所述透射电子显微镜图像中的多个碳纳米管的各个环状轮廓线的中心点，并以形成满足预定条件的多个三角形的方式连结中心点的直线的长度，所述预定条件包括：所述多个三角形各自的边不交叉；以三角形的3边的长度的总和为最小的方式选择3个所述中心点；以及所述多个三角形中位于最外的三角形的内角小于120°，所述标准偏差Sb和所述平均值Ab各自基于预定值以下的多个所述中心点间距离来算出，所述预定值是按照所述中心点间距离的长度顺序从长度最短的第1个起至预定顺位为止的所述中心点间距离的平均值乘以1.6倍而得的，所述预定顺位由将多个所述中心点间距离的总数乘以0.8所得的数的小数点后第1位四舍五入而得的整数来表示。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 三井化学株式会社 防护膜、防护膜组件、曝光原版、曝光装置和防护膜的制造方法
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