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一种加长型硅棒切割装置 

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申请/专利权人:江阴东升新能源股份有限公司

摘要:本发明涉及一种加长型硅棒切割装置,属于多晶硅生产技术领域,包括箱体和晶座,所述箱体的顶部开口,所述箱体内设置有切割机构,所述切割机构用于实现对硅棒的切割,所述箱体上设置有散热系统,所述散热系统用于将切割液作用到硅棒的切割位置后流至箱体内,所述箱体上连接有移动机构,所述晶座通过移动机构与箱体沿左右方向滑动连接,所述箱体的左侧壁设置有支撑槽,所述支撑槽延伸至箱体的顶部和内侧壁,所述晶座通过移动机构可穿过支撑槽;本发明通过水平方向的长度的增加,防止重心偏移而影响稳定性,且适用硅棒长度长度范围更大,通过将过滤后的切割液再次作用到切割段上,避免作用到硅棒上的切割液中单晶硅粉末浓度过高而影响切割效果。

主权项:1.一种加长型硅棒切割装置,包括箱体1和晶座2,所述箱体1的顶部开口,所述箱体1内设置有切割机构4,所述切割机构4用于实现对硅棒的切割,所述箱体1上设置有散热系统,所述散热系统用于将切割液作用到硅棒的切割位置后流至箱体1内,其特征在于:所述箱体1上连接有移动机构3,所述晶座2通过移动机构3与箱体1沿左右方向滑动连接,所述箱体1的左侧壁设置有支撑槽5,所述支撑槽5延伸至箱体1的顶部和内侧壁,所述晶座2通过移动机构3可穿过支撑槽5;所述移动机构3包括移动架31,所述移动架31固定设置在晶座2的左侧,所述箱体1的顶部设置有滑槽33,所述滑槽33延伸至箱体1的左右两侧,所述滑槽33平行于左右方向,所述移动架31上固定设置有导杆34,所述导杆34设置在滑槽33内,所述导杆34与滑槽33沿左右方向滑动连接。

全文数据:

权利要求:

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