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申请/专利权人:苏州芯合半导体材料有限公司
摘要:本发明提供一种劈刀抗脏污涂层及其制备方法,包括:劈刀基体,所述劈刀基体表面从里到外依次设有铬元素层、类金刚石层和纯石墨涂层,所述类金刚石层中掺杂有硅元素,这样降低了劈刀的表面能,抗脏污,减少劈刀表面金属脏污的堆积,使得劈刀的使用寿命得到了提升。
主权项:1.一种劈刀抗脏污涂层,其特征在于,包括:劈刀基体,所述劈刀基体表面从里到外依次设有铬元素层、类金刚石层和纯石墨涂层,所述类金刚石层中掺杂有硅元素。
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