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申请/专利权人：褔田株式会社
摘要：本发明涉及一种钟摆阀，在半导体工艺的蚀刻线中，其设置于连接管并调节气体量，所述连接管在干式蚀刻装置的腔室和真空泵之间连接真空泵，更详细地，涉及一种钟摆阀，其包括：固定壳，其使得与调节气体量的阀门结合的轴通过密封圈紧贴固定于阀壳；旋转轴内部轴，其结合于固定壳的内侧，通过提供所述钟摆阀，从而仅使得与阀壳分离的旋转轴以唇封为轴进行旋转，维持钟摆阀的密封特性的同时，可抑制不需要的颗粒和硬化物质排出。
主权项：1.一种钟摆阀，半导体元件制造用装备的钟摆阀设置于工艺进行用腔室和真空泵之间，其特征在于，包括：阀壳，其以使得腔室和真空泵连通的形式贯通形成有空气通路，以与所述空气通路连通的形式形成运转室；阀门，其设置于阀壳的内部并通过钟摆运动使得空气通路打开和关闭；轴，其与阀门的一端部连接，并使得阀门旋转；马达，其使得轴旋转；以及齿轮箱，其将马达的驱动力传递至轴，所述轴，包括：固定壳，其贯通阀壳的下部并进行结合固定；唇封，其设置于固定壳的内部；以及旋转轴，其以贯通唇封的中央的形式结合于唇封的内侧，一端部与齿轮箱结合，另一端部与阀门的一端部结合，借助通过齿轮箱传递的驱动力以唇封为轴进行旋转，从而使得阀门旋转；轴还包括第一盖及第二盖，第一盖及第二盖以与旋转轴的端部贯通结合的形式分别结合于固定壳的两侧部。
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