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申请/专利权人：中国科学院西安光学精密机械研究所
摘要：本发明提供了互相解耦的五自由度反射镜调整机构及其调整方法，能解决现有调整机构因不能实现五个自由度的调整和无法实现自由度之间的解耦，导致调整较繁琐，无法实现反射镜理想位置快速调节的问题。该机构包括倾斜调整模块、连接模块、用于调整反射镜沿X轴或Y轴方向平移的平移调整模块、用于带动反射镜沿Z轴平移的轴向平移调整件，倾斜调整模块包括外、内镜筒，外镜筒包括第一球面段、圆筒段、圆柱段，内镜筒包括圆环段、内壁上设置有第一凸台的第二球面段，圆筒段通过固定组件与圆环段固连，通过第一调整组件与圆环段外壁抵接，第一调整组件通过调整圆环段的位置带动反射镜绕X轴或Y轴倾斜，连接模块套设在圆柱段外且与其滑动配合。
主权项：1.一种互相解耦的五自由度反射镜调整机构，其特征在于：包括依次同轴连接的倾斜调整模块34、连接模块35、平移调整模块36，以及轴向平移调整件15；定义所述倾斜调整模块34的轴向为Z轴，倾斜调整模块34的任意径向为X轴，再以左手法则确定Y轴；所述倾斜调整模块34包括外镜筒4和位于外镜筒4内的内镜筒3；所述外镜筒4包括依次同轴连接的第一球面段39、圆筒段40、圆柱段41；所述内镜筒3包括同轴连接的第二球面段42、圆环段43；所述第一球面段39与第二球面段42滑动配合；所述第二球面段42内壁上沿其周向设置有用于安装反射镜1的第一凸台44；所述圆筒段40通过四个固定组件37与圆环段43固连，且通过四个第一调整组件38与圆环段43的外壁抵接；所述四个第一调整组件38通过调整圆环段43的位置带动反射镜1绕所述X轴或Y轴倾斜；所述连接模块35套设在所述圆柱段41外且与圆柱段41滑动配合；所述平移调整模块36用于调整反射镜1沿X轴或Y轴方向平移；所述轴向平移调整件15穿过平移调整模块36与圆柱段41远离圆筒段40的端面抵接，通过旋转轴向平移调整件15带动反射镜1沿所述Z轴平移。
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权利要求：
百度查询： 中国科学院西安光学精密机械研究所 互相解耦的五自由度反射镜调整机构及其调整方法
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