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申请/专利权人：拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司
摘要：本实用新型公开了一种二次反射镜、紫外光源组件和紫外光固化设备，涉及半导体工艺技术领域，通过将中空筒状的二次反射镜的内表面设置为圆柱形或者五个以上反射面环绕于二次反射镜的中心轴分布且依次首尾连接构成的多棱柱面，可以使得经灯管直接照射至二次反射镜的内表面或者经一次反射镜反射至二次反射镜的表面的紫外光线有更多的反射角度，以针对光线不均匀的地方补充或缩减，从而使得照射至晶圆的紫外光照度均匀。
主权项：1.一种二次反射镜，用于晶圆40固化，其特征在于，所述二次反射镜30呈两端敞开的中空筒状结构；所述二次反射镜30的内表面为圆柱面31；或，所述二次反射镜30的内表面为多棱柱面32，具有五个以上且首尾依次连接的反射面320，各所述反射面320环绕于所述二次反射镜30的中心轴分布。
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权利要求：
百度查询： 拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司 二次反射镜、紫外光源组件和紫外光固化设备
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