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一种乙硼烷高沸物排放装置及方法 

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申请/专利权人:沧州华宇特种气体科技有限公司

摘要:本发明属于特种气体制造技术领域,具体为一种乙硼烷高沸物排放装置及方法,包括脱重塔,所述脱重塔的右端连接设置有定量管,所述定量管与脱重塔之间设置有HVO1阀,所述定量管的右端连接设置有氮气真空发生器,所述定量管和氮气真空发生器之间连接设置有HVO2阀,所述氮气真空发生器的左端连接设置有常开氮气排入管,所述氮气真空发生器的下端固定设置有真空氮气排入管,所述常开氮气排入管和真空氮气排入管的下端共同连接设置有氮气通入管,本申请公开的一种乙硼烷高沸物排放方案,采用氮气输送定量高沸物至洗涤塔碱液罐进行水解破坏的方案,对高沸物排放问题进行安全解决,提高生产安全性。

主权项:1.一种乙硼烷高沸物排放装置,包括脱重塔1,其特征在于,所述脱重塔1的右端连接设置有定量管2,所述定量管2与脱重塔1之间设置有HVO1阀3,所述定量管2的右端连接设置有氮气真空发生器4,所述定量管2和氮气真空发生器4之间连接设置有HVO2阀5,所述氮气真空发生器4的左端连接设置有常开氮气排入管6,所述氮气真空发生器4的下端固定设置有真空氮气排入管7,所述常开氮气排入管6和真空氮气排入管7的下端共同连接设置有氮气通入管8,所述氮气通入管8的上端设置有在线氧分析装置9,所述氮气真空发生器4的右端设置有洗涤塔碱液罐10,所述洗涤塔碱液罐10的右端设置有尾气洗涤塔11。

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权利要求:

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