龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：ASML控股股份有限公司
摘要：本文中的实施例描述一种用以为物体提供支撑的安全装置。所述安全装置包括壳体，所述壳体包括沿所述壳体的长度延伸的转动轴。所述安全装置还包括联接至所述转动轴的第一端的旋转电机、和联接至与所述转动轴的所述第一端相反的所述转动轴的第二端的安全闩锁。所述转动轴的转动使所述安全闩锁转动。所述安全闩锁沿径向方向延伸远离所述转动轴。所述安全闩锁包括位于所述安全闩锁的远离所述转动轴的远端处的支脚部分。所述支脚部分被设计用以充当用于所述物体的接触点。
主权项：1.一种用以为物体提供支撑至支撑结构上的安全装置，所述物体是掩模版，且所述支撑结构是掩模版平台，所述安全装置包括：壳体，所述壳体包括沿所述壳体的长度延伸的转动轴；旋转电机，所述旋转电机被联接至所述转动轴的第一端；以及安全闩锁，所述安全闩锁被联接至所述转动轴的与所述转动轴的所述第一端相反的第二端，使得所述转动轴的转动使所述安全闩锁转动，所述安全闩锁沿径向方向延伸远离所述转动轴，其中所述安全闩锁包括支脚部分，所述支脚部分是实质上平坦的、且位于所述安全闩锁的远离所述转动轴的远端处、且在所述掩模版平台的顶部平台表面上延伸，所述支脚部分是所述安全闩锁的仅在若所述掩模版将沿与所述顶部平台表面垂直的Z方向从其夹持位置下降的情况下将会与所述掩模版具有任何接触的部分、并且被配置成充当用于所述物体的接触点且进而被配置成防止所述掩模版沿所述Z方向的移动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： ASML控股股份有限公司 直接驱动式掩模版安全闩锁
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号