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申请/专利权人：中芯国际集成电路制造(北京)有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
摘要：一种光掩模版传输轨道以及自动化传输系统，所述光掩模版传输轨道包括多个H型轨道单元；每个所述轨道单元包括：多个纵向轨道，沿所述第二方向延伸且相互平行设置；横向轨道，沿所述第一方向延伸且连接相邻的纵向轨道。通过轨道单元中的纵向轨道，能够与具有第二类承载模块的光刻设备相适配，以便设置于具有第二类承载模块的光刻设备上方；通过轨道单元中的横向轨道，能够与具有第一类承载模块的光刻设备相适配，以便设置于具有第一类承载模块的光刻设备上方，因此，通过本发明实施例的光掩模版传输轨道，能够提高光掩模版传输轨道与不同类型光刻设备之间的兼容性，从而满足多种光刻设备类型的设计需要，提升了半导体制造工厂的可调整弹性。
主权项：1.一种光掩模版传输轨道，其特征在于，所述光掩模版传输轨道悬空设置于光刻设备的上方，用于在多个光刻设备间传输光掩模版；多个所述光刻设备沿第一方向排列设置，所述第一方向与第二方向相垂直；每个所述光刻设备包括沿第二方向依次放置的显影机和曝光机，所述曝光机上设置有相邻的承载模块，所述承载模块用于承载所述光掩模版；沿第一方向排列的相邻承载模块用于作为第一类承载模块，沿第二方向排列的相邻承载模块用于作为第二类承载模块；所述光掩模版传输轨道包括多个H型轨道单元；每个所述H型轨道单元包括：多个纵向轨道，沿所述第二方向延伸且相互平行设置；横向轨道，沿所述第一方向延伸且连接相邻的纵向轨道。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 光掩模版传输轨道以及自动化传输系统
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