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申请/专利权人：株式会社斯库林集团
摘要：本发明提供一种能高精度地检测衬底收容器内的衬底在前后方向上的位置的衬底搬送装置。本发明涉及一种衬底搬送装置及衬底搬送方法。衬底搬送装置TID具有机械手1、进退机构31、升降机构32、移动机构33及检测部2。进退机构31使机械手1在前后方向移动，从而使机械手1进入到衬底收容器及从衬底收容器收回机械手1。升降机构32使机械手1上升，利用机械手1从下方托起衬底W。移动机构33使机械手移动到与衬底收容器相对的位置。检测部2与机械手1一体移动，在进退机构31已使机械手1进入到衬底收容器内部的进入状态下，该检测部2在与前后方向D1交叉的测量方向D2上，设置在与衬底W相邻的位置处，并在该进入状态下检测衬底W在前后方向D1上的位置。
主权项：1.一种衬底搬送装置，从衬底收容器取出衬底并将该衬底搬送到衬底保持部，所述衬底收容器的内部构造为，能够将多个衬底以水平姿势且在铅垂方向上隔着间隔层叠的状态收纳，所述衬底搬送装置具有：机械手；进退机构，使所述机械手在前后方向上移动，从而使所述机械手进入到所述衬底收容器及从所述衬底收容器收回机械手；升降机构，使所述机械手上升，利用所述机械手从下方托起所述衬底；移动机构，使所述机械手移动到与所述衬底收容器相对的位置；及检测部，与所述机械手一体移动，在所述进退机构已使所述机械手进入到所述衬底收容器内部的进入状态下，所述检测部在与前后方向交叉的测量方向上，设置在与所述衬底相邻的位置处，并在所述进入状态下检测所述衬底在前后方向上的位置；且所述检测部包括：发光部及受光部，在测量方向上彼此相向地配置；以及运算部；所述发光部向所述受光部照射以前后方向为宽度方向的带状光，所述运算部根据所述受光部接收到的光的受光量，求出所述衬底在前后方向上的位置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社斯库林集团 衬底搬送装置及衬底搬送方法
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