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一种超高纯氮气发生器 

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申请/专利权人:苏州班顺工业气体设备有限公司

摘要:本实用新型提供一种超高纯氮气发生器,包括并联设置的吸附塔A和吸附塔B,氮气储罐,以及并联设置的脱氧塔A和脱氧塔B,吸附塔A和吸附塔B的输入端通过管路输入压缩空气,输出端通过管路均连接至氮气储罐的输入端,氮气储罐的输出端通过管路连接至脱氧塔A和脱氧塔B的输入端,脱氧塔A和脱氧塔B输出端输出超纯氮气;氮气储罐输出端的管路上设有氮气流量计FT和氧分析仪AT。前段仍采用变压吸附制氮,后段采用脱氧塔脱氧提纯,两脱氧塔一备一用,可切换,设备体积小,能耗低,故障点少;脱氧塔无需电加热,常温下脱氧反应,无新杂质气体,两塔可不停机切换;具有产品气品质稳定,氧含量低等优点。

主权项:1.一种超高纯氮气发生器,其特征在于:包括并联设置的吸附塔A和吸附塔B,氮气储罐,以及并联设置的脱氧塔A和脱氧塔B,其中,吸附塔A和吸附塔B交替工作,脱氧塔A和脱氧塔B交替工作,所述吸附塔A和吸附塔B的输入端通过管路输入压缩空气,输出端通过管路均连接至氮气储罐的输入端,氮气储罐的输出端通过管路连接至脱氧塔A和脱氧塔B的输入端,所述脱氧塔A和脱氧塔B输出端输出超纯氮气;所述氮气储罐输出端的管路上设有氮气流量计FT和氧分析仪AT。

全文数据:

权利要求:

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