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申请/专利权人：芯恩(青岛)集成电路有限公司
摘要：本实用新型提供了一种等效监测沉积温度的快门盘及系统，包括相互连接的金属板和硅板、设于所述快门盘内部或外部的至少一个温度传感器，以及设于所述快门盘上并用于接收所述温度传感器采集的温度信号的处理器，其中，所述金属板设于所述硅板的上方，所述处理器设于所述金属板和所述硅板之间；本实用新型中在不开腔的情况下对晶圆在沉积过程中的温度进行更准确的实时等效记录，实现对沉积温度的常规化显示，在不影响沉积腔室集成度的基础上，充分保证沉积薄膜的稳定性。
主权项：1.一种监测沉积温度的快门盘，其特征在于，包括相互连接的金属板和硅板、设于所述快门盘内部或外部的至少一个温度传感器，以及设于所述快门盘上并用于接收所述温度传感器采集的温度信号的处理器，其中，所述金属板设于所述硅板的上方，所述处理器设于所述金属板和所述硅板之间。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 芯恩(青岛)集成电路有限公司 监测沉积温度的快门盘及系统
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