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申请/专利权人：上海鼎泰匠芯科技有限公司
摘要：本实用新型涉及晶圆制造技术领域，公开了一种离子源头结构的装配治具，包括：离子源头结构的装配治具，包括：用于与绝缘子内表面贴合的第一量测部件；用于套住灯丝夹且与所述第一量测部件固定连接的第二量测部件。上述装配治具可以在对离子注入机进行离子源腔维护保养时，利用第一量测部件与绝缘子内表面贴合，同时利用第二量测部件套住灯丝夹，以便很好地准确装配灯丝和灯丝罩的位置，并且不会影响维护保养工作，无需使用直尺量测距离，提高了工作效率，且装配治具的整体结构简单，使用方便。
主权项：1.一种离子源头结构的装配治具，其特征在于，包括：用于与绝缘子内表面贴合的第一量测部件；用于套住灯丝夹且与所述第一量测部件固定连接的第二量测部件。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海鼎泰匠芯科技有限公司 一种离子源头结构的装配治具
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