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申请/专利权人：合肥众群光电科技有限公司
摘要：一种相对调节图像边缘光刻能量的方法及装置，方法包括以下步骤：设置图像边缘调节的深度，依据所述深度将原始的曝光图像边缘进行裁剪；设置光刻时原始的曝光图像和裁剪后的图像分别对应的第一显示行数和第二显示行数，并根据所述第一显示行数和第二显示行数扫描原始的曝光图像和裁剪后的图像，原始的曝光图像和裁剪后的图像中未重叠的边缘部分的扫描次数小于重叠的中间部分的扫描次数，将边缘部分能量与中间部分能量进行区分。通过本公开来调节光刻图像边缘的能量，可以减小光刻时边缘能量过大引起的各种问题。同时保证图像中心部分有足够高的能量，从而保证光刻后图像的附着力。另外实现方式简单，速度快，还可以提高图像的曝光质量。
主权项：1.一种相对调节图像边缘光刻能量的方法，其特征在于，包括以下步骤：设置图像边缘调节的深度，依据所述深度将原始的曝光图像边缘进行裁剪；设置光刻时原始的曝光图像和裁剪后的图像分别对应的第一显示行数和第二显示行数，并根据所述第一显示行数和第二显示行数扫描原始的曝光图像和裁剪后的图像，原始的曝光图像和裁剪后的图像中未重叠的边缘部分的扫描次数小于重叠的中间部分的扫描次数，将边缘部分能量与中间部分能量进行区分。
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权利要求：
百度查询： 合肥众群光电科技有限公司 一种相对调节图像边缘光刻能量的方法及装置
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