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申请/专利权人：杭州锐河科技有限公司
摘要：本申请公开一种用于晶体类材料的浸浴式退火装置，包括：炉体，具有用于盛装液体传热介质的第一腔室；循环输送组件，用于驱使所述液体传热介质循环进出所述第一腔室；加热器，用于对所述液体传热介质进行加热；承载容器，具有装载所述晶体类材料的第二腔室，使用时完全浸渍于所述液体传热介质中；所述承载容器具有容许所述液体传热介质进入所述第二腔室的第一进液口以及通过管路连通所述循环输送组件的第一出液口，使得所述传热介质能够循环进出所述第二腔室。本申请的退火装置可对退火温度进行更精准地控制，更好地满足晶体类材料的退火需求。
主权项：1.用于晶体类材料的浸浴式退火装置，其特征在于，包括：炉体，具有用于盛装液体传热介质的第一腔室；循环输送组件，用于输送所述液体传热介质循环进出所述第一腔室；加热器，用于对所述液体传热介质进行加热；承载容器，具有装载所述晶体类材料的第二腔室，使用时完全浸渍于所述液体传热介质中；所述承载容器具有容许所述液体传热介质进入所述第二腔室的第一进液口以及通过管路连通所述循环输送组件的第一出液口，使得所述液体传热介质能够循环进出所述第二腔室。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 杭州锐河科技有限公司 用于晶体类材料的浸浴式退火装置
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