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申请/专利权人：上海威缶电子科技有限公司
摘要：本实用新型提供了一种晶圆微粒播撒装置，属于半导体测试技术领域，具体包括支架；圆形托盘，可转动地安装在所述支架上，且所述圆形托盘上设有用于放置校准晶圆的凹槽，所述凹槽内设置有夹持所述校准晶圆的夹具；旋转动力源，安装在所述支架的一侧，用于驱动所述圆形托盘旋转，所述旋转动力源的输出轴与所述圆形托盘可拆卸地连接；播撒单元，通过所述支架安装在所述圆形托盘的侧面，用于向所述校准晶圆播撒晶圆微粒。通过本申请的处理方案，使播撒耗时减小且避免手接触晶圆，且使播撒区域微粒更均匀、区域间微粒数量差距可根据所需调整。
主权项：1.一种晶圆微粒播撒装置，其特征在于，包括：支架；圆形托盘，可转动地安装在所述支架上，且所述圆形托盘上设有用于放置校准晶圆的凹槽，所述凹槽内设置有夹持所述校准晶圆的夹具；旋转动力源，安装在所述支架的一侧，用于驱动所述圆形托盘旋转，所述旋转动力源的输出轴与所述圆形托盘可拆卸地连接；播撒单元，通过所述支架安装在所述圆形托盘的侧面，用于向所述校准晶圆播撒晶圆微粒。
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权利要求：
百度查询： 上海威缶电子科技有限公司 晶圆微粒播撒装置
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