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申请/专利权人：内蒙古中环晶体材料有限公司
摘要：本发明提供一种单晶直拉过程功率自动标定修正方法，包括：实时监测单晶放肩直径，从而判断肩型生长趋势，决策温度补偿方向；每间隔一段时间计算一次设定生长速率与实际生长速率的偏差速率，根据所计算偏差速率与系数换算，得出补偿功率，在后置时间段内根据补偿方向输出所述补偿功率，并观察所述偏差速率，当所述偏差速率≤0.4％时，停止补偿；累计所述补偿功率并与设定功率加和，修正得出最终功率。本发明的有益效果是在放肩过程中持续计算偏差速率来调整补偿功率，实现放肩及下颗引晶最优温度输出，将实际肩型进行控制，最大限度靠近目标肩型，提升单晶炉温度最佳控制，提升成晶效果。
主权项：1.一种单晶直拉过程功率自动标定修正方法，包括：实时监测单晶放肩直径，判断肩型生长趋势，判定温度补偿方向；每间隔一段时间计算一次设定生长速率与实际生长速率的偏差速率，根据所述偏差速率设定系数，得出补偿功率，其中，所述偏差速率为： 在后置时间段内根据补偿方向输出所述补偿功率，并观察所述偏差速率，当所述偏差速率≤0.4％时，停止补偿；累计所述补偿功率并与设定功率加和，修正得出最终功率。
全文数据：
权利要求：
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