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申请/专利权人：上海康碳复合材料科技有限公司;上海康碳创达新材料科技有限公司
摘要：本发明涉及类金刚石薄膜技术领域，提供了一种耐冲击渐变层类金刚石薄膜及其制备方法。本发明以碳钯为靶材，采用磁控溅射法在基体表面制备类金刚石薄膜，并利用基体偏压的大小来调节膜层的软硬度，发明人发现，随着基体偏压的降低，溅射所得膜层的硬度逐渐升高，利用这一原理，本发明在磁控溅射镀膜过程中将基体偏压设置为渐变模式，从而实现膜层由软到硬的渐变，其中软层能起到缓冲作用，从而提高薄膜的耐冲击性；同时，本发明制备的类金刚石薄膜与基体具有优异的结合能力。实施例结果表明，本发明制备的耐冲击渐变层类金刚石薄膜与基体的结合力达到90N，用洛氏硬度计定性测试结合力，显示薄膜的结合力为一级。
主权项：1.一种耐冲击渐变层类金刚石薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：对基体进行磁控溅射镀膜，得到耐冲击渐变层类金刚石薄膜；所述磁控溅射镀膜采用的靶材为碳靶；所述磁控溅射镀膜在Ar气氛中进行；所述磁控溅射镀膜过程中基体偏压为渐变模式，先从1000V渐变到100V，在100V下维持0.9～1.1h，然后再从100V渐变为1000V。
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权利要求：
百度查询： 上海康碳复合材料科技有限公司 上海康碳创达新材料科技有限公司 一种耐冲击渐变层类金刚石薄膜及其制备方法
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