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申请/专利权人：西默有限公司
摘要：本公开涉及气体放电光源中的气体混合物控制。气体放电光源包括气体放电系统，其包括一个或多个气体放电室。气体放电系统中的每个气体放电室填充有相应的气体混合物。对于每个气体放电室，通过激活其相关联的能量源来将脉冲能量供应给相应的气体混合物，从而从气体放电室产生脉冲放大的光束。确定气体放电系统的一个或多个属性。基于确定的气体放电系统的一个或多个属性，从多个可能的方案中选择气体维护方案。选择的气体维护方案被应用于气体放电系统。气体维护方案包括与将一种或多种补充气体混合物添加到气体放电系统的气体放电室有关的一个或多个参数。
主权项：1.一种操作气体放电光源的方法，所述气体放电光源包括气体放电系统，所述气体放电系统包括一个或多个气体放电室，每个气体放电室容纳能量源，所述方法包括：利用相应的气体混合物填充所述气体放电系统中的所述气体放电室中的每个气体放电室；对于每个气体放电室，通过激活其能量源来将脉冲能量供应给所述相应的气体混合物，以由此从所述气体放电室产生脉冲放大的光束；对所述气体放电系统应用保持气体维护方案，其中所述保持气体维护方案是在仍然保持所述脉冲放大的光束的所需输出参数的同时还保持组分气体的方案；在对所述气体放电系统应用所述保持气体维护方案的同时，监测所述气体放电光源的一个或多个操作特性；确定所监测的所述一个或多个操作特性中的任何操作特性是否将在未来时间超出可接受的范围；以及如果确定所监测的所述一个或多个操作特性中的任何操作特性将在所述未来时间超出可接受的范围，则从所述保持气体维护方案切换到恢复气体维护方案，并且通过增加所述气体放电室中的至少一个气体放电室的所述气体混合物中的所述组分气体的相对量，来将所述恢复气体维护方案应用于所述气体放电系统。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 西默有限公司 气体放电光源中的气体混合物控制
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