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申请/专利权人：广东博奥医学检验所有限公司
摘要：本实用新型公开了一种用于半导体测序芯片清洗后吹干的氮气控制装置，包括装置主体、进气管和出气管，所述装置主体之内安装有进气孔、氮气流量控制器、氮气开关阀、氮气监测器和出气孔，所述进气管的一端与进气孔相连接，所述出气管的一端与出气孔相连接，氮气能够从进气管输入进气孔，再依次经过氮气流量控制器、氮气开关阀、氮气监测器和出气孔后，从出气管中往外输出；所述氮气流量控制器用于控制氮气输送流量，所述氮气开关阀用于打开或关闭氮气输送通道，所述氮气监测器用于监测是否有氮气通过。本实用新型结构简单、使用方便、便于打开和关闭氮气输送通道，能够控制氮气输送流量，能够即时监测是否有氮气通过、是否有氮气漏气。
主权项：1.一种用于半导体测序芯片清洗后吹干的氮气控制装置，其特征在于：包括装置主体（1）、进气管（2）和出气管（3），所述装置主体（1）之内安装有进气孔（4）、氮气流量控制器（5）、氮气开关阀（6）、氮气监测器（7）和出气孔（8），所述进气管（2）的一端与进气孔（4）相连接，所述出气管（3）的一端与出气孔（8）相连接，氮气能够从进气管（2）输入进气孔（4），再依次经过氮气流量控制器（5）、氮气开关阀（6）、氮气监测器（7）和出气孔（8）后，从出气管（3）中往外输出；所述氮气流量控制器（5）用于控制氮气输送流量，所述氮气开关阀（6）用于打开或关闭氮气输送通道，所述氮气监测器（7）用于监测是否有氮气通过。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 广东博奥医学检验所有限公司 一种用于半导体测序芯片清洗后吹干的氮气控制装置
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