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申请/专利权人：明士(北京)新材料开发有限公司
摘要：本实用新型公开一种阻挡轻分子化合物污染的真空系统升华尾管，包括升华管主体、挡板、进气口和排气口，升华管主体的一端设有进气口，升华管主体的另一端设有排气口，升华管主体的内壁上设有多个上下间插的挡板。本实用新型的升华尾管所造成气流按规定方向引导，升华管增加了气流长度改变气流稳定性使得轻分子物料可以附着在挡板上从而保护真空泵组。
主权项：1.一种阻挡轻分子化合物污染的真空系统升华尾管，其特征在于，包括升华管主体、挡板、进气口和排气口，所述升华管主体的一端设有所述进气口，所述升华管主体的另一端设有所述排气口，所述升华管主体的内壁上设有多个上下间插的所述挡板。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 明士(北京)新材料开发有限公司 阻挡轻分子化合物污染的真空系统升华尾管
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