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申请/专利权人：中山大学
摘要：本发明公开了一种基于纳米原子尺度冷阴极的纳焦斑X射线管，包括沿电子束运动方向依次设置的阴极、栅极、聚焦极和阳极，所述阴极包括纳米原子尺度的点状电子源，所述阴极与所述栅极形成电子发射结构，所述栅极、所述聚焦极和所述阳极构成聚焦结构，所述电子发射结构用于控制阴极发射电流大小，所述聚焦结构用于对阴极发生的电子束聚焦在所述阳极，以使所述阳极辐射出纳焦斑X射线。本发明实施例可以提高分辨率和稳定性，降低成本和体积，可广泛应用于电子元器件技术领域。
主权项：1.一种基于纳米原子尺度冷阴极的纳焦斑X射线管，其特征在于，包括沿电子束运动方向依次设置的阴极、栅极、聚焦极和阳极，所述阴极包括纳米原子尺度的点状电子源，所述阴极与所述栅极形成电子发射结构，所述栅极、所述聚焦极和所述阳极构成聚焦结构，所述电子发射结构用于调控阴极发射电流大小，所述聚焦结构用于调控电子束焦斑大小，以使所述阳极辐射出纳焦斑X射线。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中山大学 一种基于纳米/原子尺度冷阴极的纳焦斑X射线管
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