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申请/专利权人：宁波舜宇光电信息有限公司
摘要：本申请公开了一种反射镜面型测量系统、反射镜面型测量方法和电子设备。所述反射镜面型测量系统包括：激光光源、准直器、分束器、反射元件、载物台和图像采集器。所述激光光源用于生成并出射光线。所述准直器位于所述激光光源的光出射路径上，并被配置为将所述激光光源出射的光线准直为平行光束。所述分束器被配置为将所述平行光束分束为第一分束光束和第二分束光束。所述反射元件位于所述第一分束光束的行进路径上，且所述反射镜被配置为：将所述第一分束光束反射至所述分束器；进而使得被所述反射镜反射的第一分束光束的至少部分被所述分束器反射。所述反射镜面型测量系统结构紧凑，复杂度较低，有利于集成在现有的产线机台上。
主权项：1.反射镜面型测量方法，其特征在于，包括步骤：对参考全息图和物场全息图进行全息重建，包括步骤：通过特定的傅里叶变换公式分别对参考全息图和物场全息图进行傅里叶变换，以得到所述参考全息图的频谱图和所述物场全息图的频谱图；分别对所述参考全息图的频谱图和所述物场全息图的频谱图进行频谱数值重建，以得到参考重建场和物场重建场；以及基于所述物场重建场和参考重建场，消除所述参考重建场的背景，以得到消除背景后的物场重建场；获取所述消除背景后的物场重建场的相位分布；以及基于所述消除背景后的物场重建场的相位分布计算待测量的反射镜的三维轮廓数据；其中，所述物场全息图为参考光束和待测物测量光束发生干涉时图像采集器采集到的全息图，所述待测物测量光束为待测量的反射镜反射的光线；所述参考全息图为参考光束和参考物测量光束发生干涉时图像采集器采集到的全息图；其中，所述特定的傅里叶变换公式为： ；其中，BL表示信号xn的一维傅里叶变换值；P表示相移项，；N表示一维信号的采样数；f1表示目标频率的最小值；f2表示目标频率的最大值；fs表示预设采样频率；M表示输出的频率点数；A表示复数起始点的系数，；W表示相邻点在轮廓上的复数比例的值，；i为虚数单位；z表示频率坐标。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 宁波舜宇光电信息有限公司 反射镜面型测量系统、反射镜面型测量方法和电子设备
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