龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
摘要：本发明公开了应用于多层膜面形及厚度的低相干干涉检测装置及方法，涉及光学检测技术领域，检测装置包括低相干光源；以及分布在不同方向的参考臂和样品臂，低相干光源发出的光束被分割为参考光和样品光；参考光聚焦到参考反射镜上，样品光聚焦到被测样品上形成散射光子。本发明涉及的检测方法包括测量、图像灰度拉伸调整、光学追迹模型补偿像差以及高斯曲线拟合进行形态学建模。通过本发明提供的技术方案能够实现厚度和面形同步测量，通过低相干光源和扫描振镜可一次获得三维层析图像，且根据光和材料的相互作用具有一定的穿透能力，通过图像提取算法能够获得厚度和面形几何参数以及缺陷的同步检测。
主权项：1.应用于多层膜面形及厚度的低相干干涉检测装置，其特征在于，该检测装置包括：低相干光源（1），其发出的光源中心波长根据被测样品（7）的材料确定；以及，分布在不同方向的参考臂（2）和样品臂（3），所述样品臂（3）中设有二维扫描振镜（301），所述低相干光源（1）发出的光束经过分束器（4）被分割为两道，分别为射入所述参考臂（2）中的参考光（101）以及射入所述样品臂（3）中的样品光（102）；其中，所述参考光（101）聚焦到参考反射镜（5）上，所述样品光（102）通过扫描振镜（6）聚焦到所述被测样品（7）上形成散射光子（104）；该检测装置还包括：线阵探测器（8）以及光谱仪（9），所述参考光（101）经过所述参考反射镜（5）形成反射光（103）并返回至所述分束器（4）中，所述散射光子（104）和所述反射光（103）在所述分束器（4）的位置发生干涉后射入所述光谱仪（9）中分光，并通过所述线阵探测器（8）进行信息接收。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 应用于多层膜面形及厚度的低相干干涉检测装置及方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号