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申请/专利权人：西湖仪器(杭州)技术有限公司
摘要：本申请提出了一种面向硬质材料激光加工任务的排产方法与装置，包括以下步骤：获取待加工晶锭数据与设备数据；以加工顺序决策、加工开始时间决策、加工结束时间决策以及设备分配决策作为决策变量，以最小化总加工时间作为优化目标，以晶圆加工顺序约束、设备占用约束、加工结束时间约束以及决策变量间的关系约束作为约束条件构建激光加工过程排产模型；对激光加工过程排产模型求解得到排产方案并对排产方案进行部署。本方案基于激光加工过程中的特殊性来制定符合晶锭重复加工特征的晶圆加工顺序约束以及符合资源共享与异质特征的设备分配决策，从而获取排产方案以提高激光加工的效率。
主权项：1.一种面向硬质材料激光加工任务的排产方法，其特征在于，包括以下步骤：获取待加工晶锭数据与设备数据，所述待加工晶锭数据包括晶锭数量、每一晶锭可加工的圆晶数量、激光加工所需的阶段总数，所述设备数据包括每一激光加工阶段的设备数量，每一设备完成一次加工任务的加工时间；以加工顺序决策、加工开始时间决策、加工结束时间决策以及设备分配决策作为决策变量，以最小化总加工时间作为优化目标，以晶圆加工顺序约束、设备占用约束、加工结束时间约束以及决策变量间的关系约束作为约束条件构建激光加工过程排产模型，其中，根据待加工晶锭数据与设备数据制定加工顺序决策、加工开始时间决策、加工结束时间决策以及设备分配决策，所述晶圆加工顺序约束用于保证每一片晶圆要完成全部的加工阶段，所述设备占用约束用于保证每一台设备只能单线程处理一片晶圆，所述加工结束时间约束用于保证加工结束时间为加工开始时间与对应加工时间的和，所述决策变量间的关系约束用于保证在同一加工阶段中不同晶锭上的圆晶被分配到同一设备进行加工时必须要有先后顺序；对激光加工过程排产模型求解得到排产方案并对排产方案进行部署。
全文数据：
权利要求：
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