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申请/专利权人：东北林业大学
摘要：本发明公开了一种解决高速扫描下原子力显微镜成像失真的图像处理方法，所述方法包括如下步骤：步骤一、确定原子力显微镜的工作模式；步骤二、对样品表面形貌进行扫描；步骤三、对扫描结果离线图像优化处理。本发明通过往复扫描采集样品表面的形貌数据，将trace‑retrace曲线中的下降沿部分利用trace‑retrace曲线中的上升沿部分替代。利用该图像处理方法，可以有效抑制由于系统响应滞后所带来的扫描假象的问题，确保原子力显微镜在高速扫描下可以获得更加准确的样品形貌图。
主权项：1.一种解决高速扫描下原子力显微镜成像失真的图像处理方法，其特征在于所述方法包括如下步骤：步骤一、确定原子力显微镜的工作模式：将原子力显微镜的工作模式调整为敲击模式，并将要扫描的样品进行相应的预处理以达到测量的要求；步骤二、对样品表面形貌进行扫描：步骤二一、设定探针的扫描振幅和PID系统的增益参数，并设置扫描速度以达到期望的成像效率；步骤二二、利用往复扫描的扫描方式，在完成样品表面每一条横截面的扫描时，同时得到一条trace扫描得到的轮廓形貌曲线和一条retrace扫描得到的轮廓形貌曲线，对两种轮廓曲线的数据同时采集；步骤三、对扫描结果离线图像优化处理：步骤三一、在处理样品表面的第一条横截面时，确定trace和retrace轮廓形貌扫描时的上升沿和下降沿，随后分别提取出trace和retrace轮廓中的上升沿数据，将retrace的上升沿数据替换trace的下降沿数据，或将trace的上升沿数据替换retrace的下降沿数据，从而组合形成一条新的横截面轮廓；步骤三二、按照步骤三一的方式，对于样品表面的其他条横截面依次进行处理，从而得到一个新的样品表面二维形貌数据。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东北林业大学 解决高速扫描下原子力显微镜成像失真的图像处理方法
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