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申请/专利权人:南方科技大学
摘要:本发明提出了一种用于热敏感电子束光刻工艺的金属薄膜的制备方法,包括以下步骤:清洗衬底,烘干金属薄膜样品;使用光刻胶对所述金属薄膜样品进行旋涂,烘烤、干燥,采用电子束光刻工艺在所述金属薄膜样品表面写出图案;对所述金属薄膜样品表面进行散热处理;采用梯度功率对经散热处理后的金属薄膜样品进行电子束蒸发镀膜沉积,再将金属薄膜样品放入显影液,进行金属剥离,在所述衬底上所需微纳图案;本发明通过采用石墨片固定在样品背面散热,并结合梯度功率爬升后持续5分钟后才进行沉积的方式,使金属蒸镀速率完全稳定,有效避免PMMA光刻胶在热辐射下的变性,可获得薄膜完好、表面平整、无褶皱、开裂等情况的光洁平整薄膜。
主权项:1.一种用于热敏感电子束光刻工艺的金属薄膜的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:清洗衬底,烘干金属薄膜样品;使用光刻胶对所述金属薄膜样品进行旋涂,烘烤、干燥,采用电子束光刻工艺在所述金属薄膜样品的表面写出图案;对所述金属薄膜样品的表面进行散热处理;采用梯度功率对经散热处理后的金属薄膜样品进行电子束蒸发镀膜沉积,再将金属薄膜样品放入显影液,进行金属剥离,在所述衬底上形成所需图案。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 南方科技大学 一种用于热敏感电子束光刻工艺的金属薄膜的制备方法
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