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晶片加工过程转运装置 

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申请/专利权人:广西智汇智能科技有限公司

摘要:本发明提供了一种晶片加工过程转运装置,包括相对布置的晶盘搬运机构和工作台,工作台上方设有晶片吸取机构,晶盘放料区位于晶片吸取机构的工作区域内;工作台的一端设有匣盖放置台,匣盖放置台上设有匣盖搬运机构;晶片吸取机构与匣盖放置台之间设有芯片匣搬运机构,工作台上设有置晶台,置晶台能够运动至晶片吸取机构的工作区域以及芯片匣搬运机构的工作区域;工作台的一侧还设有出料台,工作台与出料台之间设有中转台,中转台能够运动至芯片匣搬运机构的工作区域、匣盖搬运机构的工作区域以及与出料台衔接的位置。采用本发明,实现了晶片的自动吸取、装匣并转运的全流程工作,提高了晶片装盒转运的效率。

主权项:1.一种晶片加工过程转运装置,其特征在于:包括相对布置的晶盘搬运机构1和工作台2,所述晶盘搬运机构1的工作区域内设有上料工位3和晶盘放料区4,所述工作台2上方设有晶片吸取机构5,所述晶盘放料区4位于晶片吸取机构5的工作区域内;所述工作台2的一端设有匣盖放置台7,匣盖放置台7上设有匣盖搬运机构8;所述晶片吸取机构5与匣盖放置台7之间设有芯片匣搬运机构6,所述工作台2上设有置晶台9,置晶台9能够运动至晶片吸取机构5的工作区域以及芯片匣搬运机构6的工作区域;所述工作台2的一侧还设有出料台11,工作台2与出料台11之间设有中转台10,中转台10能够运动至芯片匣搬运机构6的工作区域、匣盖搬运机构8的工作区域以及与出料台11衔接的位置。

全文数据:

权利要求:

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