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申请/专利权人:长鑫存储技术有限公司
摘要:本公开涉及一种芯片测试探针的弯曲装置和方法,弯曲装置包括定位组件、抵接件、以及推进器。定位组件用于插入并定位待弯曲的探针,以及使探针的待弯曲部外露于定位组件的外部。抵接件用于与待弯曲部相互抵接固定。推进器与抵接件分别位于探针的相对两侧,推进器用于与待弯曲部相互抵接,以及用于推动待弯曲部进行弯曲动作。在对探针进行弯曲时,将探针先插入并定位到定位组件中,使探针的待弯曲部外露;然后,由于抵接件与待弯曲部的一侧抵接,推进器从另一相对侧推动待弯曲部弯曲到预设角度。相对于采用手动直接弯曲方式,能更容易且更准确地控制待弯曲部的弯曲角度,从而能实现有效扎针,降低探针损坏概率,提高测试效率,及降低测试成本。
主权项:1.一种芯片测试探针的弯曲装置,其特征在于,所述芯片测试探针的弯曲装置包括:定位组件,所述定位组件用于插入并定位待弯曲的探针,以及使所述探针的待弯曲部外露于所述定位组件的外部;抵接件,所述抵接件用于与所述待弯曲部相互抵接固定;推进器,所述推进器与所述抵接件分别位于所述探针的相对两侧,所述推进器用于与所述待弯曲部相互抵接,以及用于推动所述待弯曲部进行弯曲动作。
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