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申请/专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
摘要：本发明提供一种进气转接部件、进气部件、进气组件及工艺腔室，第一转接件内部具有进气空间，且第一转接件设置有第一气管和第二气管，第一气管和第二气管分别从第一转接件的侧面与进气空间连通；第二转接件设置在进气空间中，第二转接件包括主体、位于主体内部的中心孔道、与中心孔道连通的通气口以及沿主体周向设置的匀流结构；第一气管通过通气口和中心孔道与外界连通；第二气管通过匀流结构与外界连通。本发明提供的进气转接部件、进气部件、进气组件及工艺腔室，能够提高进气转接部件和进气部件中工艺气体的分布均匀性，从而能够提高进入工艺腔室的工艺气体的分布均匀性，继而能够提高晶圆的刻蚀速率均匀性，进而能够提高晶圆的刻蚀均匀性。
主权项：1.一种进气转接部件，其特征在于，包括第一转接件和第二转接件，所述第一转接件内部具有进气空间，且所述第一转接件设置有第一气管和第二气管，所述第一气管和所述第二气管分别从所述第一转接件的侧面与所述进气空间连通；所述第二转接件设置在所述进气空间中，所述第二转接件包括主体、位于所述主体内部的中心孔道、与所述中心孔道连通的通气口以及沿所述主体周向设置的匀流结构；所述第一气管通过所述通气口和所述中心孔道与外界连通；所述第二气管通过所述匀流结构与外界连通。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京北方华创微电子装备有限公司 进气转接部件、进气部件、进气组件及工艺腔室
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