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申请/专利权人：拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司
摘要：一种用于传输腔与反应腔之间的传片方法，包括：位于该反应腔内的加热盘顶针将晶圆从加热盘上升起；将反应腔机械手旋转到接该晶圆的位置，其中反应腔机械手上设置有顶针组件；该加热盘顶针下降，使得该晶圆落到该反应腔机械手上；传输腔机械手伸到该反应腔内接取该晶圆的位置；该传输腔机械手向上托起该晶圆，使该晶圆与该反应腔机械手在高度方向分离。
主权项：1.一种用于传输腔与反应腔之间的传片方法，其特征在于，所述方法包括：位于该反应腔内的加热盘顶针将晶圆从加热盘上升起；将反应腔机械手旋转到接该晶圆的位置，其中反应腔机械手上设置有顶针组件；该加热盘顶针下降，使得该晶圆落到该反应腔机械手上；传输腔机械手伸到该反应腔内接取该晶圆的位置；该传输腔机械手向上托起该晶圆，使该晶圆与该反应腔机械手在高度方向分离。
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百度查询： 拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司 一种用于传输腔与反应腔之间的传片方法
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