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申请/专利权人：上海陛通半导体能源科技股份有限公司
摘要：本发明提供一种用于半导体设备基座的非接触式调平调心治具及方法。治具包括：定心梁组件、轴套组件、传感器组件和移动组件；定心梁组件包括定心梁，定心梁上设置有定心孔；轴套组件包括轴套，轴套固定于定心梁的定心孔内；传感器组件包括支架和3个传感器，支架设置有支架轴，支架底部具有锲形斜面，3个传感器在支架上呈中心对称设置；移动组件包括丝杠、丝杠支座、丝杠螺母及与支架的锲形斜面配合的下锲形块；下锲形块与支架底部的锲形斜面贴合，丝杠支座固定于定心梁上，丝杠螺母与下锲形块固定连接，且套设于丝杠上，丝杠的另一端插入丝杠支座的轴承孔内。本发明有助于提高调试精度，避免调试作业过程中引入颗粒污染，可提高生产良率。
主权项：1.一种用于半导体设备基座的非接触式调平调心治具，其特征在于，包括：定心梁组件、轴套组件、传感器组件和移动组件；所述定心梁组件包括可横跨于腔体上的定心梁，定心梁上设置有可与腔体中心对位的定心孔；轴套组件包括轴套，轴套固定于定心梁的定心孔内；所述传感器组件包括支架和3个传感器，支架设置有可套设于轴套中的支架轴，支架底部具有锲形斜面，3个传感器在支架上呈中心对称设置，且对称中心与支架轴轴心同轴；所述移动组件包括丝杠、丝杠支座、丝杠螺母及与支架的锲形斜面配合的下锲形块；所述下锲形块与支架底部的锲形斜面贴合，丝杠支座固定于定心梁上，丝杠螺母与下锲形块固定连接，且套设于丝杠上，丝杠的另一端插入丝杠支座的轴承孔内，通过旋转丝杠以驱动下锲形块带动支架移动，进而带动传感器上下移动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海陛通半导体能源科技股份有限公司 用于半导体设备基座的非接触式调平调心治具及方法
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